爪式真空幫浦

半導體真空設備-吸附移載晶圓體

規格說明
1

1.長壽命Long life

2.低耗能,產生高流量Using less power supply high air flow

3.兩個特殊設計轉子Especial two claw rotors

4.操作容易Easy operate

5. 不產生任何油霧及粉塵No produce any dust or oil mist

 

 

 

 

規格表SPECIFICATION

 

機型MODEL

C-VLR60

C-VLR150

CVLR251

 

流量AIR FLOW(L/min)

50

1000

2500

3580

 

60

1200

3000

4350

 

極限真空ULTIMATE VACUUM(mmHg)

690

690

690

操作真空OPERATE VACUUM(mmHg)

670

670

670

 

操作壓力OPERATE PRESSURE(kg/cm2)

X

X

X

 

口徑PORT DIAMETER

G1-1/4”PT

G1-1/2”PT

G2”PT

 

重量WEIGHT(kg)

75

130

140

 

馬力POWER

1.1/1.5kw

3.0/3.6kw

4.0/4.8kw

 

機械尺寸SIZE(LxWxH)(mm)

683x470x450

830x540x380

890x720x380